Just Right, Just Fit! Optimum for chip size up to 4 inch wafer
저전류, 고주파수 용 프로브스테이션
A100은 알파시리즈 프로브스테이션 중 가장 콤팩트 한 매뉴얼 프로브스테이션 입니다. IC, 다이오드, 트랜지스터, 웨이퍼 등의 전기적인 특성을 측정하고
분석하는 용도로 사용됩니다. 사용자는 합리적인 가격으로 유용성과 높은 퍼포먼스를 느끼실 수 있습니다.
주요 특장점
- 쏠라 시뮬레이터 장착 가능
- 작은 사이즈, 가벼운 무게
- 편리한 이동성
- 안정적이고 정확한 측정을 위해 차폐박스 설치 가능
- 간단한 구조, 저렴한 가격
표준 스펙
- Stage travel X : 100mm Y:100 mm (coarse motion)
- Sub-stage travel X : 14mm Y:14 mm (micro motion)
- 웨이퍼 척(Wafer chuck) : Diameter 110mm / thickness: 5 mm
- 웨이퍼 홀더 (Wafer hold) : 진공(Vacuuming)
- 칩 사이즈 : Max. 4 inch wafer
- θ−stage travel : 360 degree. / Fine: ±5 deg.
- 크기 및 무게 : W400 x H330 x D360mm, 25Kg
다양한 스테이지(Stage)
Hot Chuck / Thermo Chuck / Normal Chuck
Chuck for film / Resinous Chuck, Others